新規(guī)定 GBT 25915.1-2021 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第
1 范圍
本文件規(guī)定了按空氣中懸浮粒子濃度劃分潔凈室、潔凈區(qū)、GB/T25915.7 所述的隔離裝置中的空氣潔凈度等級。
本文件適用于粒徑擋下限為0.1μm~5μm 的顆粒物累積計數(shù)分布及其粒子濃度的監(jiān)測。
超細(xì)粒子(<0.1μm)的濃度將在納米尺寸粒子空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定。在指定采樣點,規(guī)定使用光散射(離散式)空氣懸浮粒子計數(shù)器(LSAPC)判定大粒子(>5μm)的粒子濃度,用 M 描述符對其量化。
本文件不適用于表征空氣懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性、生物活性或其他特性。
2 規(guī)范性引用文件
下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文件,僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
3 術(shù)語和定義
下列術(shù)語和定義適用于本文件。
3.1 基本
3.1.1
潔凈室 cleanroom
空氣懸浮粒子濃度受控并分級的房間,其設(shè)計、建造到運行均使進入、產(chǎn)生、滯留于房間的粒子受控。
注1:規(guī)定了按空氣懸浮粒子濃度劃分的級別。
注2:也可對影響潔凈度等級的其他因素,如空氣中化學(xué)物、微生物或納米尺度粒子濃度等,以及影響表面潔凈度等
級的其他因素,如粒子、納米粒子、化學(xué)物或微生物濃度等,作出規(guī)定并進行控制。
注3:溫度、濕度、壓力、振動和靜電等相關(guān)的物理參數(shù),也可按要求受控。
3.1.2
潔凈區(qū) cleanzone
空氣懸浮粒子計數(shù)濃度受控并分級的限定空間。其建造和運行使進入、產(chǎn)生和滯留于空間的粒子受控。
注1:空氣懸浮粒子濃度的級別已確定。
注2:也可對影響潔凈度等級的其他因素,如空氣中化學(xué)物、微生物或納米尺度粒子濃度等,以及影響表面潔凈度等
級的其他因素,如粒子、納米粒子、化學(xué)物或微生物濃度等,作出規(guī)定并進行控制。
注3:潔凈區(qū)可以是限定于潔凈室內(nèi)的空間,也可用隔離裝置實現(xiàn)。隔離裝置既可設(shè)在潔凈室內(nèi)也可在潔凈室外。
注4:溫度、濕度、壓力、振動和靜電等相關(guān)的物理參數(shù),也可按要求受控。
3.1.3
設(shè)施 instalation
連同所有相關(guān)構(gòu)筑物、空氣處理系統(tǒng)、供給和公用設(shè)施的潔凈室或一個、多個潔凈區(qū)。
3.1.4
分級 classification
按技術(shù)要求評定潔凈室或潔凈區(qū)潔凈度水平的方法。
注:潔凈度水平應(yīng)以ISO 等級濃度來描述,它代表單位容積空氣內(nèi)最大允許粒子濃度。
3.2 空氣懸浮粒子
3.2.1
粒子 particle
具有規(guī)定物理邊界的微小物質(zhì)。
3.2.2
粒徑 particlesize
給定粒徑測定儀測得的、與被測粒子響應(yīng)量相當(dāng)?shù)那蝮w直徑。
注:光散射離散粒子計數(shù)儀給出的是光學(xué)等效直徑。
3.2.3
粒子濃度 particleconcentration
單位體積空氣中粒子的個數(shù)。
3.2.4
粒徑分布 particlesizedistribution
以累積分布表示的粒子濃度與粒徑的函數(shù)關(guān)系。
3.2.5
大粒子 macroparticle
當(dāng)量直徑大于5μm 的粒子。
3.2.6
M 描述符 Mdescriptor
實測或規(guī)定的每立方米空氣中大粒子濃度,其中的當(dāng)量粒徑與測量方法有關(guān)。
注:M 描述符可視作采樣點平均值的上限。不能用M 描述符表示ISO 潔凈度等級,但 M 描述符可以單獨引用或與ISO 潔凈度等級一起引用。
3.2.7
單向流 unidirectionalairflow
通過潔凈室或潔凈區(qū)整個斷面,風(fēng)速穩(wěn)定且平行的受控氣流。
3.2.8
非單向流 non-unidirectionalairflow
潔凈室或潔凈區(qū)的送風(fēng)以誘導(dǎo)方式與室內(nèi)空氣混合的氣流分布。
3.3 占用狀態(tài)
3.3.1
空態(tài) as-built
潔凈室或潔凈區(qū)所有服務(wù)設(shè)施就位并運行,但無設(shè)備、家具、材料和人員的狀態(tài)。 3.3.2
靜態(tài) at-rest
潔凈室或潔凈區(qū)建成且設(shè)備就位,按議定的方式運行,但無人員在場的狀態(tài)。
3.3.3
動態(tài) operational
潔凈室或潔凈區(qū)設(shè)施按議定方式運行,且有規(guī)定數(shù)量的人員按議定方式工作的狀態(tài)。
3.4 檢測儀器
3.4.1
分辨率 resolution
可被測量的最小變量,即在相應(yīng)顯示中產(chǎn)生的、可辨認(rèn)的變化。
注:噪聲(內(nèi)、外部)或摩擦等因素可決定分辨率,被測的量值也可決定分辨率。
[來源:ISO/IEC Guide99:2007,4.14]
3.4.2
最大允許測量誤差 maximum permissiblemeasurement error
對一項具體測量、或?qū)y量儀或測量系統(tǒng),相對于已知參照量值,技術(shù)條件或規(guī)范所允許的測量誤差極值。
注1:在有兩個極限值時,通常用術(shù)語“最大允許誤差”或“誤差限值”予以區(qū)分。
注2:“公差”不可用于表示“最大允許誤差”。
[來源:ISO/IEC Guide99:2007,4.26]
3.5 儀器規(guī)格
3.5.1
光散射(離散式)空氣懸浮粒子計數(shù)器 light scattering(discrete)airborne particle counter; LSAPC
依據(jù)粒子的光學(xué)等效直徑,對空氣中單個粒子進行計數(shù)和測徑的儀器。
注:GB/T29024.4—2017給出了LSAPC 的規(guī)格。
3.5.2
離散大粒子計數(shù)器 discrete-macroparticlecounter
能夠?qū)諝庵袉蝹€大粒子計數(shù)和測徑的儀器。
注:其技術(shù)規(guī)格見附錄F中表F.1。
3.5.3
飛行時間測徑儀 time-of-flightparticlesizingapparatus
以粒子適應(yīng)風(fēng)速變化的時間來測定其空氣動力學(xué)直徑的離散粒子計數(shù)、測徑裝置。
注1:通常借助光學(xué)方法測量流體速度變化后粒子的移動時間。
注2:其技術(shù)規(guī)格見表F.2。
4 分級
4.1 占用狀態(tài)
應(yīng)規(guī)定在“空態(tài)”“靜態(tài)”和“動態(tài)”的某種或某幾種占用狀態(tài)下(見3.3),對潔凈室或潔凈區(qū)按空氣中粒子濃度進行分級。
4.2 粒徑
當(dāng)按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級時,范圍為0.1μm~5μm 的一個或幾個粒徑擋閾值(低值)。
4.3 ISO等級數(shù)
按粒子濃度劃分的空氣潔凈度應(yīng)標(biāo)識為ISO N 級。每個關(guān)注粒徑的最大允許濃度見表1。
表1中不同粒徑閾值的粒子濃度數(shù)目僅作為分級標(biāo)準(zhǔn),并不反映空氣中真實的粒徑和數(shù)量分布。
附錄B 中列舉了幾個分級計算實例。
表1 按粒子濃度劃分的空氣潔凈度ISO級別
4.4 表示方法
潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)懸浮粒子濃度的表示方法應(yīng)包括:
a) 以“ISO N 級”表示的ISO 等級數(shù);
b) 分級時的占用狀態(tài);
c) 關(guān)注粒徑。
如果關(guān)注粒徑不止一個,較大粒徑(D2)應(yīng)至少是下個較小粒徑(D1)的1.5 倍,即D2≥1.5×D1。
示例見表2。
表2 關(guān)注粒徑示例表
4.5 非整數(shù)潔凈度等級和粒徑閾值
當(dāng)需要非整數(shù)等級,或整數(shù)和非整數(shù)等級需要表1中未列出的粒徑擋時,見附錄E。
